长/短寸量测设备


SOM200

SCD200

长/短寸量测设备主要应用于显示制造中的TFT、CF、TPOT、COE等工艺制程的TP (Total Pitch)、CS(Center Shift)、CD(Critical Dimension)和OL (Overlay)量测,该系列设备可支持各世代基板的量测。
SOM200系列为长寸量测设备,又称为基板变形检测设备或精密测长机,主要应用于长寸TP和CS量测,兼容短寸CD和OL量测。
SCD200系列为关键尺寸量测设备,主要应用于短寸CD和OL的量测。
  产品特征

高量测精度

SOM200系列设备采用多路激光干涉仪,SCD200系列设备采用光栅尺,实现高速、高精确定位和量测。

高精度温度控制

采用高精度温度控制技术和超高效的过滤系统,有效保证机内温度均一性。

高量测效率

运动台的运动轴采用高刚度结构设计,运动速度更快,结构更稳定,量测效率更高。

多功能量测

SOM200系列产品的基本功能为Total Pitch与Center Shift量测,同时兼容CD和OL的短寸量测功能。SCD200系列产品实现CD和OL的短寸量测。
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