SOI600系列半自动光学缺陷检测设备


SOI600

SOI600系列产品是半自动光学缺陷检测设备,对晶圆表面进行缺陷目检,宏观、微观拍照,缺陷Review等,改善工艺良率。SOI600产品主要用于前道IC制造产线的ADI、AEI、API和OQC等工艺段。
  产品特征

丰富的成像照明系统

具备丰富的成像照明配置:物镜凸轮包含5个卡槽,可预装1X、2X、3.5X、5X、10X、20X、50X或100X等倍率的物镜,像素分辨率最高可达27.5nm,可切换明暗、暗场、荧光场照明,可调整照明光强等。

多角度拍照

支持晶圆宏观多角度翻转、旋转,可进行晶圆正面、背面、边缘缺陷拍照和高清动态显示。

高产率、低成本

高效的全自动晶圆传输系统,大行程、高精度、高速步进运动台,有效提升了检测产率,降低用户的使用成本。

支持多种物料接口

可支持6寸、8寸和12寸标准notch晶圆,支持SMIF、Open Cassette、FOUP和FOSB等多种物料接口。支持OHT天车对接,并配备安全光栅。

友好的软件交互界面

基于Linux平台开发的检测软件,操作便利,交互友好。支持EAP工厂远程自动化生产控制,支持宏观、微观拍照,Klarf文件导入解析、缺陷Review、分类、排序等。
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